考慮到直線(xiàn)電機(jī)模組是是自動(dòng)化機(jī)械設(shè)備，所以在實(shí)際使用中一定要嚴(yán)格要求，把控好準(zhǔn)確度的具體變化，并做好必要性的直線(xiàn)電機(jī)模組準(zhǔn)確度測(cè)量。

　　運(yùn)行平行度：在裝置直線(xiàn)模組的平臺(tái)上安防標(biāo)準(zhǔn)尺，用實(shí)驗(yàn)指示器在內(nèi)滑動(dòng)，可以移動(dòng)的區(qū)域內(nèi)做好測(cè)試，移動(dòng)區(qū)域內(nèi)數(shù)值的大的差便是測(cè)量值。

　　定位精度：以直線(xiàn)電機(jī)模式的行程為基準(zhǔn)長(zhǎng)度，用從基準(zhǔn)位置開(kāi)端實(shí)際的移動(dòng)的間隔與指令值相互間的最大誤差的絕對(duì)值來(lái)表示。

　　相同定位精度：對(duì)任何一點(diǎn)在一樣的方向做好7次相同定位，再測(cè)出當(dāng)中值位置，算出表頭數(shù)值最大的差值的二分之一。當(dāng)做測(cè)試的規(guī)則，在移動(dòng)間隔的中心及大體上兩側(cè)的位置分別做好測(cè)試，將測(cè)試數(shù)值中的最大值當(dāng)做測(cè)量值，用帶有±的最大的差的二分之一表示。

　　游隙：對(duì)內(nèi)滑塊給予進(jìn)給，以滑塊剛剛開(kāi)端移動(dòng)時(shí)，實(shí)驗(yàn)指示器的數(shù)值為基準(zhǔn)，這種模式開(kāi)端，不依賴(lài)于進(jìn)給裝置，在內(nèi)滑塊移動(dòng)的方向一樣的方向上（工作臺(tái)的進(jìn)給的方向）施加負(fù)荷，過(guò)后把測(cè)試開(kāi)端時(shí)的基準(zhǔn)值與回去時(shí)位置相互間的差值，當(dāng)做測(cè)量值。測(cè)試在運(yùn)動(dòng)大部分的中心及大體上兩側(cè)的位置分別做好，把所取得的數(shù)值中的最大值當(dāng)做測(cè)量值。